MEMS研究室主要从事以自旋电子技术与微纳加工技术为基础的磁性MEMS传感器研究工作。研究室目前拥有一条较为完整的2英寸MEMS传感器研发线，包括高真空磁控溅射台、激光直写机、光刻机、离子束刻蚀机、振动样品磁强计、传感器磁电输运测试系统等大型设备，可满足大部分的器件制备与测试需求。研究团队以此为基础，成功研发出了高性能自旋阀晶圆、高性能磁隧道结晶圆、巨磁阻MEMS磁强度传感器、巨磁阻MEMS转速传感器、高频信号耦合器等一系列可产业化的产品，并获授权发明专利8件，省级自然科学三等奖和科技进步三等奖各一次。